负胶光刻图形图形边缘有虚边现象

发布者: 敢封我 | 发布时间: 2016-12-29 15:32| 查看数: 3172| 评论数: 2|帖子模式

目前用星泰克SUN-1300负胶进行光刻工艺。目前用SUSS-MA6手动曝光机曝光,2500rpm/min的厚度;110℃;60s的前烘;12s的紫外曝光时间;110℃,75s的后烘;45s的显影。显影完后发现图形边缘有一圈虚边现象。初步怀疑是显影时间过长。有没有大神指点一下,还有什么因素会造成这样的形貌?图中GN-60字符是没有胶的,其余区域有胶。

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最新评论

满城花笑 发表于 2017-6-15 16:03:26
这款胶我比较熟悉的,跟工艺参数有很大的关系。金属便面和非金属便面的烘烤和曝光、显影是不一样的。从图片的形貌来看,像是显影钻蚀严重导致。
满城花笑 发表于 2017-6-15 16:05:35
建议坚持前后烘烤的时间延长至120,保证胶膜稳定。
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